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电子扫描显微镜种类-全方位认识[博越仪器]

作者:博越仪器 发布时间:2022-03-04 16:28:00 浏览人数:1635

扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。而随着技术的不断升级,电子扫描显微镜种类普遍有3种。


电子扫描显微镜种类


一、透射电子显微镜 TEM,它的主要原理是将高压电子束引导至样品以照亮样品并产生样品的放大图像。由于透射电镜具有原位观察、高分辨显像等功能,适宜观察光学显微镜观察不到的细微结构。比如:细胞、组织分析、晶体结构等。二、扫描电子显微镜 SEM,从成像原理分析,扫描电子显微镜的分辨率会比透射电子显微镜的分辨率稍差。但它的优势在于可以利用表面处理,创建大样本的图像,尺寸可达几厘米,并且具有较大的景深。因此,来自 SEM 的图像可以较好地表达样品的真实形状。


电子扫描显微镜种类-客户案例


三、反射电子显微镜 REM,反射电子显微镜涉及检测从被检查的样品反射的弹性散射电子束。反射高能电子衍射 (RHEED) 和反射高能损失光谱 (RHELS) 技术通常用于此类显微镜。由于电子显微镜的原理及用途也各不相同,所以应用领域也不同。比如:TEM透射电镜广泛应用于科研实验室主要用于来研究细菌、组织切片和其他微生物。另外,SEM 还经常用于材料科学研究的测试和故障分析,检查高温下的超导体、合金强度和纳米管,最终影响电子产品对航空航天业的影响。扫描电子显微镜还常用于法医调查。比如:通过 SEM 所提供的放大倍数,来分析证据类型的来源,从而得出与法律目的相关的调查结论。 


电子扫描显微镜种类


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